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公平會表示，雖然ASML於半導體微影設備市場具有極高的市占率，漢微科於半導體缺陷檢測設備市場占有率亦達10%，但審酌法令管制、技術門檻尚非案關市場參進障礙，參與結合事業除本結合外，未有跨入彼此業務領域的發展計畫等因素，參與結合事業間尚不具有重要潛在競爭可能性。
公平會表示，半導體製程非常複雜，若有透過相容性來造成搭售效果，則必須再考量與其他絕大多數半導體設備於半導體製造過程中，是否會造成技術不相容疑慮。因此，雖不能完全排除漢微科與ASML未來或有產品搭售的可能性，但參酌經濟部及參與結合事業交臺南市後壁區外匯推薦銀行>新竹縣峨眉鄉外匯理財推薦>桃園市桃園區理財銀行推薦易相對人意見，本結合尚無顯著限制競爭疑慮。高雄市小港區附近銀行>新北市雙溪區銀行推薦臺中市東勢區外匯定存推薦>新北市坪林區投資外匯臺南市玉井區銀行分行
公平會表示，半導體製程非常複雜，若有透過相容性來造成搭售效果，則必須再考量與其他絕大多數半導體設備於半導體製造過程中，是否會造成技術不相容疑慮。因此，雖不能完全排除漢微科與ASML未來或有產品搭售的可能性，但參酌經濟部及參與結合事業交
漢微科嫁荷商ASML，公平會准了。公平會今天表示，有關荷商艾司摩爾（ASML）與漢微科的結合案，經審議委員會通過，無顯著競爭疑慮
公平會另指出，新北市八里區定存銀行推薦臺中市中區理財銀行推薦有關參與結合事業可能將微影設備與缺陷檢測設備搭售的疑慮，按搭售行為之適法性，尚須經過合理原則檢驗，尚非屬當然違法行為。此外，經查半導體設備相關市場，過去尚無搭售爭議。
公平會指出，ASML的半導體微影設備，與漢微科半導體缺陷檢測設備，運基隆市中山區銀行分行用於晶圓不同製程階段，不具產品替代可能性，因此本案屬多角化結合。
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